National Dong Hwa University
－電子顯微鏡之原理
利用高加速電壓使電子槍激發電子束，經由掃瞄線圈(圖一)，打擊至試片產生相關二次訊號，偵測其訊號後經數位放大後在螢幕上顯像(圖二)。
一般的二次訊號包括背向散射電子、二次電子等，經由不同之偵測器分別接收不同之放射訊號(圖二)。
－能量散射光譜儀之原理
能量散佈光譜儀主要是由擴散鋰原子的矽晶接收器為核心的固態偵測器，其中鋰是為中和矽晶接收器中可能存在的其它雜質。由於此種偵測器必須要在低溫下操作，是利用液態氮冷卻之。
電子束激發而放射出來之訊號穿過含薄膜的偵測器中激發矽晶接收器產生電子電洞，再轉換成電流，經放大器及脈衝處理器，送至能量數位轉化器，處理由多頻道分析儀將訊號存入其對應之頻道位置。
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