－ 設備：可變真空型掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)搭配能量散射光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer，EDS)

• 購置時間：2005.7

• 型號：JEOL JSM-6380LV (SEM)，Oxford INCA 350(EDS)

－ 標準樣本：現有 Jadeite, Pyrope, Albite, MgO, Al₂O₃, Wollastonite, TiO₂, Cr₂O₃, Rhodonite, Magnetite, ZnS, GaP, ZrO₂, Sanidine

－ 儀器性能：

    

     － 電子顯微鏡

• 解析力：高真空模式，約3~10nm；低真空，約1~5um

• 加速電壓：0.5~30 kV

• 型號：JEOL JSM-6380LV (SEM)， Oxford INCA 350(EDS)

• 倍率：最大可至x300000

• 燈絲：鎢燈絲

• 樣本台：X=40mm，Y=80mm，Z=5~48mm，R=360°

• 影像：高真空模式下，SEI(二次電子影像)，利於表面、破裂面、立體觀察，標本需鍍碳

            低真空模式下，BSEI(背向式電子影像)，可分Compo、 Topo、 Shadow，標本不需鍍碳

       － 能量散射光譜儀

• 定性與面半定量分析

• 點成分分析，成分剖面分析(line profile)，面之成分分析(mapping)

－ 相關附件：

• 鍍碳機 (型號：SPI-MODULE)

• 相片紙型輸出印表機(黑白) (Mitsubishi)

• 彩色噴墨印表機(EPSON)