實驗室介紹


各式實驗儀器

 

4吋晶圓探針台
 
客製化電熱恆溫量測系統
 
 
 
KEITHLEY2400
 
 
 
 
 
探針座主要是配合KEITHLEY2400以及B1500A來使用的,藉由連接的探針與試片作接觸來供給電壓並且偵測電流。
 
 KEITHLEY2400是一個電壓源、電流源、電壓錶、電流錶、四合一的儀器,也可以配合其他儀器量測IV曲線圖。
           
 
 
B1500A
 


ALD
 
 半導體參數分析儀
 
原子層沉積系統
 
 
 
 
 
B1500A半導體參數分析儀是多合一元件特性分析儀,支援I/V、C/V、脈衝/動態的IV量測,目前有在使用I/V以及C/V的模組,其電流可以量測到10的-12次方等級的精密儀器。
 
原子層沉積系統(ALD)是一種薄膜沉積技術,將前驅物引入基板表面並產生化學反應形成單原子層薄膜,性質上就是在基板表面形成原子等級的薄膜
           
 

加熱振洗機
 


WCT120
 
DC 200H
 
少數載子壽命測試儀
 
 
 
 
 
加熱震洗機是一種無汙染的清洗設備,主要藉由超音波在液體中產生氣泡,氣泡破裂後產生音壓撞擊物體表面使表面汙染物脫體的清潔儀器
 
少數載子壽命儀是分析矽晶片中廣泛使用得技術,將試片放置在導電線圈上,並用閃光照射,光源會使矽晶片產生多餘的載子,增加晶片的電導,再由線圈感測,來量測試片的少數載子壽命(lifetime)