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實驗室介紹
各式實驗儀器 |
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探針座主要是配合KEITHLEY2400以及B1500A來使用的,藉由連接的探針與試片作接觸來供給電壓並且偵測電流。 |
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KEITHLEY2400是一個電壓源、電流源、電壓錶、電流錶、四合一的儀器,也可以配合其他儀器量測IV曲線圖。 |
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B1500A半導體參數分析儀是多合一元件特性分析儀,支援I/V、C/V、脈衝/動態的IV量測,目前有在使用I/V以及C/V的模組,其電流可以量測到10的-12次方等級的精密儀器。 |
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原子層沉積系統(ALD)是一種薄膜沉積技術,將前驅物引入基板表面並產生化學反應形成單原子層薄膜,性質上就是在基板表面形成原子等級的薄膜 |
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加熱震洗機是一種無汙染的清洗設備,主要藉由超音波在液體中產生氣泡,氣泡破裂後產生音壓撞擊物體表面使表面汙染物脫體的清潔儀器
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少數載子壽命儀是分析矽晶片中廣泛使用得技術,將試片放置在導電線圈上,並用氙閃光照射,光源會使矽晶片產生多餘的載子,增加晶片的電導,再由線圈感測,來量測試片的少數載子壽命(lifetime) |
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